眾所周知，模具的熱處理技術就是為了更好地發揮模具材料的潛力，提高模具的使用性能。其性能滿足：高的強度（包括高溫強度，抗冷熱疲勞性能）、高的硬度（耐磨性能）和高的韌性，并且還要要求有良好的機械加工性可焊接性以及抗腐蝕性等等。

而模具在進行真空熱處理時，我們要注意：
1.真空爐處理鈦合金時，不宜用作為冷卻氣體，因為在鈦和氮在高溫下反應，會形成金黃色的氮化鈦。
2.真空爐活動連接部分全部采用O型橡膠圈密封連接，此部分通水冷卻。
3.工件在真空狀態下淬火，應使用真空淬火油，此油具有較低的飽和蒸氣壓。

對復雜模具的熱處理變形可采取一下方法預防：合理的選材，模具結構設計要合理，厚薄不要太懸殊，形狀要對稱，復雜模具要進行預先熱處理、合理選擇加熱溫度，控制加熱速度，在保證模具硬度的前提下，盡量采用預冷、分級冷卻淬火或溫淬火工藝，在條件許可的情況下，可選擇真空加熱淬火和淬火后的深冷處理，預先熱處理、時效熱處理、調質氮化熱處理來控制模具的精度。

正確的熱處理工藝操作（如堵孔、綁孔、機械固定、事宜的加熱方法等）和合理的回火熱處理工藝可以減少模具在熱處理中造成的變形。